上海真空泵廠家生產(chǎn)的干式螺桿真空泵，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。
1 真空泵特征
(1)可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長(zhǎng)。
(2)操作維護(hù)方便。
(3)動(dòng)力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行。
(4)適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。
(5)多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。
2 上海真空泵廠家的螺桿式干式真空泵的應(yīng)用
螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。應(yīng)用范圍極為廣泛。具體如下：
干燥處理，減壓蒸餾，分子蒸餾，溶劑回收，油氣回收，工廠通用真空，電子，真空鍍膜，航空，核工業(yè)可提取普通空氣，易燃易爆氣體，腐蝕性氣體，特別適合清潔真空環(huán)境的要求。具體應(yīng)用：真空鍍膜，減壓蒸餾，真空干燥，拉單晶，特殊氣體制造，離子蝕刻等
氨綸，芳綸纖維，纖維，冶金等紡織和冶金行業(yè)使用干式真空泵，具體應(yīng)用：真空消泡，VOD真空吹氧脫碳等。
其中一個(gè)代表半導(dǎo)體工業(yè)，它要求真空泵在泵送空間中返回到零以保護(hù)工件免受污染。應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的真空系統(tǒng)的要求可分為三個(gè)等級(jí)。在清潔條件下，僅泵送干燥空氣或含有少量水蒸氣的空氣;在中等條件下，反應(yīng)氣體被泵出而沒有固體顆粒;在不利條件下，泵出化學(xué)反應(yīng)物(有毒甚至致癌)和固體顆粒。
另一個(gè)是石油化學(xué)工業(yè)，需要大量真空泵來除去可冷凝氣體，腐蝕性氣體，有毒氣體或含有灰塵的氣體。螺桿干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子，核電，化工，醫(yī)藥，食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片，LCD制造，蝕刻，生產(chǎn)PLASMA CVD工藝。它被用于核工業(yè)的核反應(yīng)堆和核工業(yè)的真空采集;在化學(xué)工業(yè)中用于真空蒸餾和溶劑萃取以有效回收溶劑;在脂肪酸生產(chǎn)中，以消除水污染和消除噴射器中的堵塞;在制藥工業(yè)中用于回收藥物液體和醫(yī)藥中間體，為人造器官的生產(chǎn)提供清潔和無菌條件。回收氣體消毒劑;食品工業(yè)用于香料，濃縮香精，食品包裝等
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